Оператор прецезионной фотополиграфии. Обязанности оператора

В обязанности оператора фотолитографии входит выполнение целого ряда технологических операций: фотолитография рисунка всей схемы и резисторов, травление металлов с пробельных мест и с резисторов, снятие фоторезиста, контроль внешнего вида схемы, проверка электрических параметров схемы, контроль адгезии пленок и другие. Необходимо учесть здесь и ту специфику, которая появляется при изготовлении каждого типа микросхем.

Труд оператора фотолитографии физически не тяжелый. Работают здесь преимущественно женщины. Однако сложность, высокая точность и малые размеры элементов, которые выражаются в микронах, предъявляют определенные требования к психофизиологической сфере человека.

Особенно высоки они к состоянию зрения и мышечной чувствительности. Так, на операции совмещения, предшествующей фотоэкспонированию, надо очень точно расположить рисунок фотошаблона относительно рисунка предыдущей фотолитографии. Оператор, глядя в микроскоп, должен точно наложить знаки совмещения подложки и фотошаблона, для чего используются механизмы перемещения в двух направлениях и поворота подложки относительно фотошаблона.

Точность совмещения зависит от линейного глазомера, а также от плавности перемещений, точности фиксации этих перемещений и типа знаков совмещения. Это требует от оператора высокой координации мелких движений пальцев, исключительной аккуратности и терпеливости. Не допускается тремор рук.

Одно из условий эффективной работы оператора с микроскопом - высокий уровень развития зрительно-двигательной координации.

Руки должны работать в тесном взаимодействии с глазами, поэтому регуляция движений при работе с микроскопом производится на основе зрительного контроля как за самими движениями, так и за их результатами. Большую роль здесь играет также мы-шечно-суставная чувствительность и моторная (двигательная) память.

Процессы проявления, травления металлов контролируются по внешнему виду, по цвету: каждый металл после окончания травления имеет определенный цвет, который оператор должен различать. Если человек не может правильно различать цвета, он не должен избирать профессию оператора прецизионной фотолитографии.